技术编号:3315578
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了,该CoCrPt-氧化物靶材包括SiO2,TiO2,CrO,Cr2O3,Ta2O3,W2O3,Al2O3,Y2O3等氧化物中的一种或几种,其中氧化物相的平均晶粒尺寸在3~20μm。合金靶材中Co、Cr、Pt形成α-Co及ε-Co两相Co基固溶体,其中以低温相六方ε-Co固溶体为主,靶材的厚度在2~6mm之间,靶材的透磁率(PTF)值40%~60%之间。由该合金靶材制得的磁记录介质的磁记录层呈(002)晶面的择优取向生长,在X衍射分析中,用式(1...
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