技术编号:3316597
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种玻璃陶瓷靶材,包括合金背板和玻璃陶瓷本体,合金背板为耐高温镍基合金,玻璃陶瓷本体是通过丝网印刷工艺转移玻璃陶瓷粉体在前述合金背板上后烧结制备而成,合金背板与所述玻璃陶瓷本体通过固相扩散方式结合;其制备方法包括将各原材料粉体混合,高温熔炼后进行淬冷,再通过球磨,烘干、过筛后得到玻璃粉;取有机载体和玻璃粉混合,球磨后得到玻璃浆料;在一合金背板上通过丝网印刷上述玻璃浆料,烘干后进行烧结处理;重复上述步骤直至得到所需厚度的玻璃陶瓷本体,将表面进行抛...
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