技术编号:3316806
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种半导体器件用键合铜合金丝,含有下述重量配比的成分铜100份,钯0.5-1.5份,氢0.0005-0.002份。本发明还提供上述键合铜合金丝的一种制造方法,包括下述步骤(1)将铜和钯熔合成铜钯合金熔体,再经过拉丝处理,获得铜钯合金线材;(2)对铜钯合金线材进行多道次拉拔,得到铜钯合金丝;在拉拔过程中及拉拔完成后进行退火处理,最后一次退火处理采用氮氢混合气作为退火气氛;(3)最后一次退火处理结束后,将铜钯合金丝通入乙醇水溶液中进行冷却,得到键合铜合金丝。本...
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