技术编号：3317162
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开一种蒸发镀膜装置，涉及蒸发镀膜，解决了由于加热用线源越来越长，导致有机材料在基板表面成膜的均一性变差的问题。所述蒸发镀膜装置，包括柱状体，其包括表面设有凹槽的筒体，以及与筒体匹配套装的中空套筒，凹槽沿筒体中心线方向延伸设置，且凹槽内设有多个间隔设置的隔间，中空套筒顶端区域设有第一蒸发孔；坩埚，其包括一端敞口、四周密封的本体，以及与本体匹配连接的盖罩，且盖罩上设有第二蒸发孔，本体置于隔间内；加热体，其为中空柱状结构，且柱状体位于加热体内部，加热体上...
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