技术编号:3317191
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种在铁基材料表面沉积铁+铬+钼+钛+氮化钛的混合多层纳米强化层的工艺,是利用磁控溅射技术,在铁基材料表面依次沉积纳米级厚度的混合过渡层,混合层铁和铬、铬和钼、钼和钛之间没有明显的分界线,为混合逐步形成的过渡层,最后再复合沉积纳米级的氮化钛强化层,形成结合力良好的复合强化层。本发明采用磁控溅射在铁基材料表面沉积铁+铬+钼+钛+氮化钛的多层纳米强化层,形成的过渡层成分梯度分布平缓,残余内应力较小,大大增加了膜基结合强度,增强了与基体的结合力,其硬...
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