技术编号:3317591
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。利用液体传递兆赫级振动的超声抛光方法及其抛光装置,涉及一种抛光方法及其装置,该方法通过柔性的耦合剂传递振动,将振子的高频超声振动传递到振动抛光工具上;实现了不依赖于整体模态分析与模态设计的振动抛光工具。并将该方法应用在硅片抛光领域,设计了一套利用液体传递兆赫级振动的超声抛光装置,对振子上的压电陶瓷片施加适宜频率的交变电压的激励,振子将在设计的模态下共振,高频的振动通过耦合剂传输到振动抛光工具,最终将兆声振动传输至抛光液,使抛光液颗粒有效发挥作用,从而获得被...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。