技术编号:3317690
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明提出了一种氧化锌锡陶瓷靶,其特征在于,所述氧化锌锡陶瓷靶包括纯度为99.99%的氧化锌粉体和纯度为99.99%的氧化锡粉体混合而成,其中,所述氧化锌粉体和所述氧化锡粉体的质量百分比为64~73的任一配比。本发明还提出了一种氧化锌锡陶瓷靶的制备工艺,以及使用该靶材制备氧化锌锡膜的方法。本发明制备的氧化锌锡薄膜膜层纯净、粒径均匀、溅射电压稳定性强,工艺易于控制,膜层结合力强,膜层致密性好,膜层可以在无氧的条件下应用于低辐射镀膜玻璃之中。专利说明[0001...
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