技术编号：3318575
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于蒸镀领域，公开了一种蒸镀线源，包括外壳和设置在外壳中的坩埚，所述坩埚包括锅体和喷嘴，所述锅体的外部设置有用于对锅体进行加热的加热装置，所述外壳和锅体之间设有用于阻止热量向外壳进行散发的隔热装置。本发明的蒸镀线源在外壳和坩埚的锅体之间设有用于阻止热量向外壳进行散发的隔热装置，可以有效减少加热装置在加热时的能量损耗，由于外壳内壁减少了受加热装置的热辐射，使用寿命延长。专利说明蒸镀线源 [0001]本发明涉及蒸镀领域，特别是涉及一种蒸镀线源。 ...
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