技术编号：33190985
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及具备差动排气装置的聚焦离子束装置。背景技术.近年来，提出有在离子束照射装置的前端部具备局部真空装置的扫描型电子显微镜(例如参照专利文献)。在该扫描型电子显微镜中，能够通过局部真空装置在样品的表面局部地形成真空空间，因此无需真空腔室。在该扫描型电子显微镜中，在载置到支承构件上的样品与供离子束照射装置退避的退避构件之间的槽的底部，沿着该槽延伸的方向隔开规定的间隔地设置有排气口。在上述的扫描型电子显微镜中，在使配置于退避构件上的局部真空装置向支承在支承构件上的样品的上方移动时，能够实...
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