技术编号:3319269
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及。使用有蜡贴片机将硅片贴在陶瓷盘上进行抛光;抛光过程包括粗抛光、中抛光和精抛光;抛光机所使用的粗抛光液、中抛光液和精抛光液温度控制在20-30℃范围内,整个抛光过程中的大盘温度控制在40-60℃范围内;抛光液每使用6-8h更换一次;每抛光40min后,使用圆盘刷对抛光机大盘进行刷洗5min;定期检测和修整抛光机大盘表面平整度,最终保证大盘表面平整度≤1.5μm。采取本抛光方法,抛光垫的使用寿命从50h延长到70h左右。从而解决了抛光垫使用寿命短的...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。