技术编号:3319333
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供了一种化学机械抛光垫,其包括抛光层;刚性层;以及将抛光层与刚性层粘结的热熔粘合剂;其中所述抛光层的比重大于0.6,肖氏D硬度为60-90,断裂伸长率为100-300%;且具有初始水解稳定性和持续水解不稳定性的独特组合特征。专利说明化学机械抛光垫 [0001] 本发明涉及化学机械抛光垫及其制备和使用方法。更具体而言,本发明涉及化学 机械抛光垫,其包括抛光层、刚性层以及将所述抛光层与所述刚性层粘结的热熔粘合剂;其 中所述抛光层的比重大于〇. 6...
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