技术编号:3319335
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供了一种用来,该方法包括提供一种基材,提供一种化学机械抛光垫,其包括具有一定组成和抛光表面的抛光层,其中对所述抛光层的组成进行选择,使其具有初始水解稳定性,以及持续水解不稳定性;具有上表面和下表面的刚性层;介于抛光层底表面和刚性层上表面之间的热熔粘合剂;其中所述热熔粘合剂将抛光层与刚性层粘合;具有层叠体侧和台板侧的压敏台板粘合剂层;其中压敏台板粘合剂层的层叠体侧与刚性层的底表面相连;以及在抛光表面和基材之间形成动态接触以抛光基材的表面。专利说明 ...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。