技术编号:33196847
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本申请涉及加热工装技术领域,具体而言,涉及一种分子束外延源炉加热丝缠绕工装及缠绕方法。背景技术.分子束源炉是分子束外延技术的核心零部件,分子束源炉由均匀围绕在炉外的加热丝发热,炉内的固体待沉积物受高温熔化并蒸发,从炉内上升并沿炉口喷射进分子束外延腔室内,最终沉积在样品台上形成均匀薄膜。其中分子束源炉的温度场的稳定性和均匀性直接影响到分子束的流量和均匀性,并决定成膜的质量,如图所示,图为现有技术的分子束源炉的结构示意图,分子束源炉包括第一加热丝和多个第一支撑环,由第一加热丝迂...
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