技术编号：33197633
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。.本公开涉及实施图像间的图案匹配的技术。背景技术.对形成于半导体晶圆上的图案进行测量、检查的装置大多利用模板匹配技术，使检查装置的视野对准期望的测量或测量位置。模板匹配是从搜索对象的图像找到与预先登记的模板图像最一致的区域的处理。专利文献记载了这样的模板匹配的例。.专利文献记载了基于半导体器件的设计数据来制作模板匹配用的模板的方法。如果能够基于设计数据制作模板，则具有消除为了制作模板而特意用检查装置取得图像这样的麻烦等优点。.非专利文献记载了将个图像作为输入，将存在于图像的变换...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。