技术编号:3319874
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及真空薄膜,具体涉及一种双臂自动装片式溅射镀膜方法及其装置,其特征在于在所述真空镀膜室内设置一旋转机构,所述旋转机构连接于所述基片架的旋转中心,所述旋转机构驱动所述基片架在所述真空镀膜室内旋转;将所述进、出片室设置于所述真空镀膜室的同侧,且所述进、出片口分别对准所述基片架上相邻的两个所述工位,在所述进、出片室内分别设置上、下片输送机构。本发明的优点是1)可实现同时上片和下片的功能,大大提高了生产效率。2)具有结构紧凑、占地面积小、运营成本低的优点。...
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