技术编号：3320235
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明实施例提供了一种膜厚传感器，属于蒸镀领域，以使Mg材料易于附着在膜厚传感器上，从而避免Mg材料的浪费。所述膜厚传感器，在所述膜厚传感器的表面上涂覆有Mg或Mg/MgO膜层。本发明可用于膜厚传感器的生产中。专利说明一种膜厚传感器 [0001] 本发明涉及蒸镀领域，尤其涉及一种蒸镀用膜厚传感器。 背景技术 [0002] 在现有的OLED面板生产中，通常选用Mg/Ag合金作为阴极材料，并通过蒸镀的方 法将阴极材料蒸镀到基板玻璃上。为了精确地监控蒸...
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