技术编号:3320313
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明的课题是提供一种含非晶碳被膜,其是高硬度且具有与基材的高密合力、能够大幅提升加工用工具和机械部件的寿命且实用性极为优秀的含非晶碳被膜。本发明涉及一种含非晶碳被膜,其是在基材上形成的含非晶碳被膜,其中,膜厚分别为0.05μm以上的非晶碳被膜层[A]和非晶碳被膜层[B]按照所述非晶碳被膜层[A]配置在基材侧、所述非晶碳被膜层[B]配置在表层侧的方式层积构成,该含非晶碳被膜整体的膜厚设定为0.1μm以上且1.5μm以下,所述非晶碳被膜层[A]和所述非晶碳被...
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