技术编号:3320401
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及一种蚀刻铜及钼含有膜时,控制钼或钼合金膜的侧蚀,实现稳定的蚀刻工程,并可改善蚀刻锥角、蚀刻偏差和蚀刻直线度等蚀刻特性的蚀刻液组合物。所述蚀刻液组合物中,相对于总重量,过氧化氢的含量为10至30重量%,蚀刻抑制剂的含量为0.1至5重量%,螯合剂的含量为0.1至5重量%,蚀刻添加剂的含量为0.1至5重量%,氟化物的含量为0.01至2重量%,侧蚀抑制剂的含量为0.01至2重量%,及使总重量达到100重量%的水。专利说明铜及钼含有膜的蚀刻液组合物 ...
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