技术编号：3320405
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供了原子层沉积设备及方法，在原子层沉积设备中设置了远程等离子体发生器，用于产生远程等离子体；并与之配合在反应腔的腔体上设置了远程等离子体入口；以及设置了远程等离子体管道，将远程等离子体发生器和远程等离子体入口相连通，将从远程等离子体发生器出来的远程等离子体输送至远程等离子体入口处。在原子层沉积过程中，使原子层沉积和远程等离子体去除杂质的过程循环进行，从而使每次沉积的原子层表面均可以得到清洁，从而减少原子层沉积过程中的杂质缺陷，提高原子层薄膜的洁净度...
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