技术编号:3320761
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了,其包括激光形成开口步骤,所述激光形成开口步骤是通过激光头发射在方向上与掩模基板所在平面呈锐角的激光束,所述激光头发射的所述激光束在所述掩模基板上按照预设的轨迹运行并在所述掩模基板上形成开口,从而形成掩模板,所述形成在掩模基板上的开口靠近所述激光头一侧的边缘围成的面积S1小于背离所述激光头一侧的边缘围成的面积S2;通过该工艺制作掩模板开口能够避免采用传统化学蚀刻制作掩模板开口所带来的环境损害问题,亦能保证掩模板在靠近沉积基板一侧的开口(小开口)...
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