技术编号：3320936
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种旋转磁场平面阴极，包括屏蔽罩、绝缘基座、冷却池、磁钢旋转装置、靶座和靶，所述屏蔽罩拧接在圆盘形状的绝缘基座的上方，所述冷却池设置在屏蔽罩内，并固定在绝缘基座的上方，所述冷却池内悬置有磁钢旋转装置，所述靶座固定在冷却池的上方，且与冷却池的接触面上设有橡胶密封圈，所述靶通过导热硅胶贴合在靶座的上方，所述靶的周圈还设有金属压环，所述金属压环用于将靶、靶座固定。本发明的旋转磁场平面阴极，与传统旋转圆形平面靶相比扩大了靶的均匀溅射面积，从而进一步提高...
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