技术编号:3321236
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种,采用逐步加压法,首先通过在轻压下、慢速抛光一段时间以降低试片之间厚度差,之后逐步增加抛光盘上盘压力、提高抛光盘转速以提高抛光速度。能防止了因厚度偏差引起的崩边和破碎,加工效率高、成品率高。专利说明 [0001]本发明涉及一种抛光石英玻璃技术,尤其涉及一种。 背景技术 [0002]石英玻璃是光学、光电子、半导体、光纤和光伏等高新以及国家重大工程必不可少的关键材料,是现代科技发展的重要基础材料。石英玻璃广泛应用于紫外、可见光区域的光...
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