技术编号：3322767
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本发明的蒸镀坩埚装置，包括坩埚，坩埚用于容纳被加热材料的容纳腔，容纳腔的腔壁内部设置有用于容纳加热介质的加热腔，以通过加热介质对被加热材料加热。本发明的蒸镀坩埚装置使得整个容纳腔受热均匀，材料蒸发速率稳定可控，从而解决了现有直接电阻式坩埚的不同位置温度差异大、局部温度较高导致材料受热变质或分解的技术问题。专利说明蒸镀坩埚装置 [0001]本发明涉及显示装置，特别是涉及一种蒸镀坩埚装置。 背景技术 [0002]现有的蒸发源的加热方式有五种电阻加热、...
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