技术编号:3323936
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明公开了一种高低压转换装置,所述装置包括绝缘支架、输入部分、输出部分、传感器感应装置、气动弹起装置、转轴和转动系统;所述绝缘支架上面固定所述输入部分和所述输出部分的电极,所述输出部分的固定电极和所述转动系统的转轴连接在一起;所述转轴带动传感器感应板在所述传感器感应装置的路径上转动,由传感器控制停止转动,由所述气动装置弹起整个所述转动系统,使输入输出电极连接,从而实现开关功能。本发明实现了在磁控溅射镀膜过程中多次转换偏压的要求。与现有的类似装置比较,此装...
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