技术编号：3324124
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。，其制备方法依次包括1、沉积技术及靶材成分的确定；2、工件的选择与前处理；3、预轰击工艺的确定；4、沉积工艺的确定；5、真空加热处理；6、工件旋转。本发明降低了镀膜成本，保证了膜层高附着力、高硬度和高热震性的同时实现，减小了膜层内应力，并具有良好的稳定性和可重复性。专利说明 [0001]本发明涉及一种氮梯度硬质反应膜的制备方法，特别是采用不同合金靶制备多弧离子镀氮梯度硬质反应膜的方法，比如氮化钛铝锆铌〔(TiAlZrNb)N〕氮梯度硬质反应膜的制备方...
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