一种气相沉淀设备用喷淋头清洁装置制造方法技术资料下载

技术编号:3324542

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本发明公开了一种气相沉淀设备用喷淋头清洁装置,包括可拆卸地设置于旋转托盘上的清洁部件,且清洁部件的旋转半径大于或等于喷淋头半径;通过将清洁部件固定于设备的旋转托盘上,在每生长一炉后通过驱动旋转托盘上移并转动,实现对喷淋头的自动清洁,节省人力,刷洗均匀。所以旋转托盘的动力源自设备的本身,有很好的适应性与重现性。在设定好清洁部件相对喷淋头的固定的距离,固定的转速后,每次清洁力度、转速相同,确保每次清洁程度一致,从而保证工艺的稳定性。此外,刷毛采用高低间隔排列,...
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