技术编号:33247240
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本实用新型是有关于一种加工装置,特别是有关于一种放电加工装置。背景技术.随着半导体产业蓬勃发展,放电加工技术已常见用于加工处理晶锭或晶圆。放电加工(electrical discharge machining,edm)是一种借由放电产生火花,使待加工物成为所需形状的一种制造工艺。介电材料分隔两电极并施以电压,产生周期性快速变化的电流放电,用以加工上述之待加工物。放电加工技术采用两个电极,其中一个电极称为工具电极,或称为放电电极,另一个电极则称为工件电极,连接上述之待加工物。在放电加工的过程...
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