技术编号:3324865
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明提供了一种由氮化镓中回收镓的方法,其使得从氮化镓中回收镓的工艺简单、适用于半导体企业内自行处置,降低了企业的原材料成本。将含氮化镓的废料置于仅含有还原性气体的封闭容器内,且还原性气体连续输入,之后将容器加热至700℃~950℃,使得氮化镓与还原性气体在封闭容器中发生发应,从封闭容器外接的抽气管道抽取封闭容器中生成的可回收气体、可回收气体收集后集中处理,待氮化镓完全由固态转化为液态后关闭还原性气体输入,抽气管道继续抽气1min~3min后关闭抽气管道,...
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