技术编号:33252440
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本发明涉及基板传送组件以及方法,更详细地涉及能够基于发射前方移动路径的光并拍摄通过发射的光形成的像(image)形态的拍摄图像来掌握碰撞危险程度的方案。背景技术.为了制造半导体元件或者液晶显示器,执行将感光液供应到基板上的光刻、蚀刻、离子注入、蒸镀以及清洗等各种工艺。在执行这样的工艺的过程中,基板从一个装置传送到另一个装置。在这样的传送过程中,基板的搬运可以通过传送机械臂等基板传送组件来执行。.通常,例如,旋转系统或者清洗机等半导体制造设备具备多个处理单元,将晶圆通过传送机械臂传送到处理...
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该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。