技术编号:3325749
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明涉及石墨烯生长设备,尤其涉及一种大面积生长石墨烯的装置。包括石英管、通气腔体、金属基底,所述通气腔体内部中空,所述通气腔体为螺旋式柱状结构,所述金属基底的形状与所述通气腔体的形状相匹配,所述金属基底沿着所述通气腔体内表面螺旋卷曲,所述通气腔体最内圈的端部与所述金属基底最内圈的端部固定连接在一起,所述通气腔体的最内圈的一侧和最外圈的同一侧上均设有进气口,所述通气腔体的内表面上设有多个出气孔,所述石英管套设在所述通气腔体外,包覆住整个所述通气腔体。本发明...
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