技术编号:3326984
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种应用在卷绕式溅射三层介质膜的镀膜装置。该镀膜装置,包括冷辊、驱动冷辊的主电机、包覆住冷辊的真空腔、放卷机构、收卷机构和五个阴极小室,所述五个阴极小室中的中间三个阴极小室结构相同均为双靶阴极小室,双靶阴极小室中的阴极靶体为两个阴极溅射靶,五个阴极小室中的两侧的两个阴极小室结构相同均为单靶阴极小室,单靶阴极小室的阴极靶体为一个阴极溅射靶。采用上述结构后,本实用新型利用中间的三个双靶阴极小室采用相同的气氛对三层介质膜的中间介质膜进行溅射,延长了...
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