技术编号：3327082
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本技术提供一种能够有效缩短抽真空时间，节约能源，提高设备有效利用率的磁控溅射镀膜装置。它包括多个真空腔体，相邻两腔体之间以隔板分隔，隔板两侧壁上开有顶端相对的v型槽，板缝开在两v型槽的顶端之间；在v型槽处设置有两个隔离条，隔离条沿着v型槽长度方向延伸，两个隔离条位于v型槽对称轴的两侧，隔离条与v型槽斜侧面相对的表面为与v型槽斜侧面相平行的斜面，两个隔离条相对的平面相互平行；在v型槽长度方向上，板缝的长度小于隔离条长度，隔离条长度小于v型槽长度；隔离条与驱动...
注意：该技术已申请专利，请尊重研发人员的辛勤研发付出，在未取得专利权人授权前，仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权，增加技术思路，做技术知识储备，不适合论文引用。