微机电系统麦克风的制作方法技术资料下载

技术编号:33275202

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.本实用新型涉及一种声能传感器(acoustic transducer),特别是涉及一种微机电系统(micro-electro-mechanical system,mems)麦克风。背景技术.目前电子装置(包括麦克风)已逐渐朝向薄型、小巧、轻便和高性能等趋势发展。举例而言,一般麦克风可以用于接收声波并将声信号转换为电信号,其中麦克风已被广泛应用于日常生活以及安装在例如电话、手机和录音笔等电子产品内部。.在一电容式麦克风(capacitive microphone)中,声压(acoustic...
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