技术编号:3327665
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型公开了一种单晶炉热场清理工作台,属于单晶炉维护,用于清理热场石墨件,包括支撑底座、位于支撑底座上部的台面、罩于台面上的壳体状封闭室;所述台面面板上均匀分布着开孔;所述开孔与抽吸系统连接;所述台面上中心部位设有旋转托盘;所述封闭室侧壁上设有工作台门;所述封闭室侧壁上连接有气体反吹系统。本实用新型能够有效改善热场清理工作环境,提高热场清理效果,降低劳动强度。专利说明一种单晶炉热场清理工作台[0001]本实用新型属于单晶炉维护。背景技术[0002]单晶...
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