一种多晶硅端面磨床的制作方法技术资料下载

技术编号:3329051

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本实用新型公开了一种多晶硅端面磨床,包括机架以及安装在机架上的驱动电机,驱动电机通过丝杆机构与磨头组件连接,磨头组件包括主轴、磨头旋转驱动机构及磨头;磨头旋转驱动机构包括支撑框、绕组、导磁块及外壳,支撑框位于外壳的内腔,且支撑框套接在主轴外围,同时支撑框与主轴固定连接,绕组分布在支撑框与主轴之间的间隙内;外壳可旋转地套接在主轴外围,导磁块安装在外壳上;绕组与激励电源连接,且绕组与导磁块之间磁性连接;因此,本实用新型采用由支撑框、绕组、导磁块以及外壳组成的励...
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