技术编号:3329685
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型提供了一种可调节压力的硅片对准器,包括依次连接的吸盘、真空管和真空泵,所述吸盘的内侧面用于吸附硅片,吸盘的外侧面连接真空管,还包括依次连接的压力检测装置、控制器及调压装置;所述压力检测装置安装在真空管与真空泵的接头处,用于检测所述真空管内的压力值并反馈至所述控制器,所述调压装置安装在真空管上,用于调整所述吸盘吸附硅片的压力值,所述控制器根据所述压力检测装置检测的压力值控制所述调压装置的开关。本实用新型减少了硅片破碎概率,合理控制硅片对准器的吸盘吸...
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