技术编号:33298540
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。mems麦克风及其制造方法技术领域.本申请涉及半导体制造技术领域,具体而言涉及一种mems麦克风及其制造方法。背景技术.mems(micro electro mechanical system,微机电系统)麦克风主要包括振膜与背极板,且振膜与背极板之间具有间隙。声音作用于振膜时会导致振膜振动、变形,振膜与背极板之间的间隙将会改变,使得振膜与电极板之间的电容值发生改变,从而电容值的变化可以转换为电信号输出。.mems麦克风的灵敏度与振膜的厚度负相关,也即,在其它条件不变的情况下,振膜的厚度越...
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