技术编号:3330457
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型公开一种真空喷涂旋转靶材自动抽气装置,该自动抽气装置位于旋转靶材喷涂罐体一侧并与该旋转靶材喷涂罐体内腔连通,该自动抽气装置包括水泵、真空挡板阀及电磁阀,所述真空挡板阀通过法兰盘固定于罐体一侧抽气管上,所述法兰盘下方设一止回阀,该止回阀下方通过软管与水泵连通,形成真空抽气通道。本实用新型能够全自动的抽除真空等离子喷涂过程中在真空腔体内产生的气体,降低生产过程中的人力成本和时间成本,减低生产异常率。专利说明一种真空喷涂旋转靶材自动抽气装置 [0...
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