技术编号:3330518
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种用于加热CVD反应器(1)的基座(4)的设备,具有至少一个加热件(9、19),其中,加热件(9、19)的部段或者不同的加热件(9、19)并排延伸并且借助支撑件(10、20)相对于支撑板被位置固定,其中,支撑件(10、20)分别具有形状接合地插入支撑板(29)的固定开口内的支脚(15、16、17;25、26、27)和与横向于支撑板(29)的延伸面延伸的柄部(14、24)相连接的头部(11、12、13;21、22、23),加热件(9、19)固...
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