技术编号:3331327
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种双开门立式制备金刚石膜的设备,属于镀膜,特别涉及一种制备金刚石膜的设备,该设备包括电源及控制系统、真空系统、供气系统及沉积系统,其特征在于所述沉积系统上连接有真空系统和供气系统,所述沉积系统包括左腔室、右腔室、中部腔室和热丝调力机构,所述中部腔室固定安装于真空系统之上,左腔室和右腔室分别转动安装于中部腔室两侧,热丝竖直固定安装于中部腔室内部,热丝下端连接有热丝调力机构。本实用新型采用热丝竖直安装于中部腔室上,真空室采用双开门立式布局,待镀膜试样分别安装...
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