技术编号:3331522
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及化工中薄膜制备领域,具体地来说为一种受热均匀、热丝不易断的热丝化学气相沉积反应室。该反应室包括真空室壁,在真空室壁的对应两侧对称设置水平设置的升降台,升降台在旋转电机的作用下实现水平方向的移动,在升降台端部设置样品台,样品台的顶层为夹层结构,用于放置样品,两个升降台之间设置多个竖直设置的灯丝,灯丝的两端分别通过弹簧固定在真空室壁的上下壁上。本实用新型将灯丝竖直设置,有效地解决了传统灯丝水平设置,由于重力造成下垂从而导致基片受热不均匀的问题。专...
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