技术编号:3331693
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本发明属于先进光学制造领域,具体涉及的是一种电流变式柔性可控气囊抛光工具。背景技术现代光学系统对光学元件表面质量提出了极其严格的要求,武器装备、空间观测、激光核聚变、极紫外光刻等不仅要求光学元件具有极高的面形精度,同时也要对全频段误差分布做出严格的控制。目前的计算机控制光学表面成形技术(CCOS)与传统技术相比能大大提高加工效率,且具有设备简单、造价低廉等优势,逐渐成为加工非球面的主要方法。但是由于其采用的刚性小磨头与被加工零件表面不吻合及其子口径修磨加工...
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