技术编号:3332177
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型涉及一种高纯旋转铬靶的制作装置,特征是包括外套管和中空的衬管,外套管设置在衬管外围,在外套管和衬管之间形成圆环形空腔,该圆环形空腔的上下端分别采用端头圆环密封,在上部的端头圆环上设置灌粉管,灌粉管与圆环形空腔连通。所述衬管为中空结构。本实用新型所述的高纯旋转铬靶的制作装置可以采用整体成型的方式制作铬靶,通过热等静压加工,得到高纯度、高致密的铬靶材材料,并且铬靶材材料与衬管紧密的结合在一起。采用本实用新型可以保证铬层有很好的密度,较小的晶粒,并可避...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。