技术编号:3333252
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型提供了一种靶材组件,包括靶材、背板及导磁片,所述靶材与所述背板层叠设置,所述导磁片嵌于所述背板中,所述导磁片设有导磁片顶面,所述背板设有背板顶面,所述导磁片顶面与所述背板顶面平齐,且所述导磁片顶面贴紧所述靶材。本实用新型的靶材组件通过设置导磁片,使得磁控溅射过程中的磁场分布均匀,靶材的蚀刻速率一致,从而延长矩形平面靶材使用寿命,降低生产成本,提高靶材的使用效率。专利说明 一种靶材组件 [0001]本实用新型涉及磁控溅射,特别涉及一种靶材组件...
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