技术编号:33334873
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。.本申请涉及驱动装置技术领域,尤其涉及一种感应线圈组件驱动系统及其控制方法。背景技术.在实施半导体工艺的过程中,有时需要利用感应线圈组件对待加热装置进行加热,并利用驱动装置驱动感应线圈组件移动,以对待加热装置的各部位进行加热。参考图,例如,在基于pvt(physicalvaportransportprocess,物理气相传输)法制备晶体的过程中,需要使得感应线圈组件在晶体制备设备外进行移动,以按照工艺需求对晶体制备设备进行加热。.在相关技术中,可以利用旋转驱动器和升降组件驱动...
注意:该技术已申请专利,请尊重研发人员的辛勤研发付出,在未取得专利权人授权前,仅供技术研究参考不得用于商业用途。
该专利适合技术人员进行技术研发参考以及查看自身技术是否侵权,增加技术思路,做技术知识储备,不适合论文引用。
该类技术注重原理思路,无完整电路图,适合研究学习。