技术编号：3334282
提示：您尚未登录，请点 登 陆 后下载，如果您还没有账户请点 注 册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型属于真空腔体机械，具体为一种用于薄膜生长的超高真空腔体。其主体为一个由正方体切割去八个顶角而形成，其内部作球形掏空，构成用于薄膜生长的腔体内壁；正方体的六个方形面上分别设有大法兰接口，与腔体内壁贯穿连通；每一个截面上设有小法兰接口，与腔体内壁贯穿连通。本实用新型，内部基于球形腔体内壁表面积小、一体加工而成无焊接口的特殊设计，有效提高了该超高真空腔体的极限真空度,一般机械泵结合300L/s抽速的分子泵，极限真空度可进入10-11mbar,预留法兰接...
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