技术编号:3334388
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型的一种硅片湿法刻蚀工艺用开沟装置,包括酸槽和防酸花篮,还包括支撑架,所述支撑架包括底板、顶板以及连接在底板和顶板之间的伸缩支撑杆,所述底板上设置有卡座,所述酸槽卡在卡座内;顶板上开有导向槽口,导向槽口一端的顶板上方设置有气缸,所述气缸的活塞杆连接有悬臂,所述悬臂竖直贯穿导向槽并且底部设置有花篮挂钩,防酸花篮顶部设置有与花篮挂钩配合的钩环。本实用新型的有益效果是保证酸槽中混酸液温度的均匀,从而免去了操作人员的重复劳动,节省了人力。专利说明 一种硅片...
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