技术编号:3334984
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型公开了PVD与HIPIMS制备超硬DLC涂层设备,采用多层膜复合技术,利用PVD过程与HIPIMS方法,通过阴极与阳极偏压调节和乙炔气体流量控制,设计一种工业化的制备类金刚石涂层设备,实现工件表面的超硬度类金刚石涂层设备,并使涂层具有超高硬度,高耐摩擦性能,高耐磨损性能和高自润滑性能;本实用新型涂层工艺简单,复合涂层条件精确可控,成膜质量高,性能稳定,产品成品率高,成本低廉;具有超高硬度和优异的自润滑抗摩擦磨损性能;本新型涂层设备设置有四套规模化...
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