技术编号:3335189
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。一种阴极电弧离子镀磁场调节装置,PVD镀膜机壳体内设有阴极靶座,阴极靶座上表面设有凹槽,靶材设在凹槽内,阴极靶座内设有水道,调节装置包括设在阴极靶座下表面的螺杆,磁铁装置设在螺杆上、并能沿螺杆移动;磁铁装置包括横截面为U型的不锈钢圆环,在不锈钢圆环的U型槽内设有永磁体,在不锈钢圆环中心孔壁上设有聚四氟层,聚四氟层表面有螺纹与螺杆面表相啮合。本实用新型在阴极电弧离子镀膜过程中,可根据靶材消耗及更换过程中将永磁体后退或前进,方便调节靶材表面磁场。同时永磁体和螺...
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