技术编号:3336057
提示:您尚未登录,请点 登 陆 后下载,如果您还没有账户请点 注 册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。本实用新型公开了一种可拆卸、并且安装定位非常方便的晶片研磨机中环形防护筒的安装结构,包括下磨座和至少一根导向定位杆,该环形防护筒包括一对半圆弧形板,这一对半圆弧形板通过一对锁扣机构锁紧在一起;该对半圆弧形板的相应端面上分别设置有圆弧形定位凸起和圆弧形定位凹槽,环形防护筒的内壁上设置有与下磨盘相配合的搁置凸台,环形防护筒上的搁置凸台搁置在下磨盘外侧的下磨座上;机座上还设置有环形搁置平台,至少一个半圆弧形板的底面上沿径向开设有与相应导向定位杆的上部相配合的导向...
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